為防止氣缸活塞運動到行程終端位置時撞擊缸蓋，氣缸內部必須采用緩沖裝置。可以采用內部或外部緩沖的形式。內部緩沖形式有:①通過機械式的緩沖元件;②利用建立起一定的氣壓來達到緩沖的目的------氣墊緩沖。 外部緩沖形式有:①在排氣回路中串人節流閥的氣動緩沖形式;②借助于機械緩沖元件;③借助于液壓緩沖器;④利用比例閥;⑤利用定位裝置。

通常缸徑小于16mm的氣缸采用彈性緩沖墊，缸徑大于16mm的氣缸采用氣墊緩沖結構。這里討論的是氣墊緩沖也稱內部氣動終點緩沖裝置。

這種緩沖形式是通過在由緩沖柱塞所封閉的活塞容腔中建立起一定的壓力來實現緩沖的，節流口的大小及活塞速度的快慢影響壓力的高低以及緩沖的效果。為了使活塞再次向反方向運動時在氣缸緩沖段內活塞的有效受力面積不減小，常在緩沖機構中還裝入一臺單向閥。由于緩沖的距離不能太長，因此緩沖的效果也受到一定的限制。

氣缸的緩沖裝置由緩沖柱塞、節流閥和緩沖腔室等構成，氣墊緩沖的工作原理是在活塞高速向右運動時，活塞右腔內的空氣經缸蓋柱塞孔和進排氣口排向大氣。在氣缸活塞桿行程進入終端前，緩沖柱塞依靠緩沖密封圈將缸蓋柱塞孔堵住。于是，封閉在活塞和缸蓋之間環形腔室內的空氣只能通過節流閥排向大氣。由于節流閥流通面積很小，環形腔室內的空氣在運動活塞的壓縮下背壓升高形成氣墊作用，迫使活塞迅速減速，最后停下來。改變節流閥的開度，就可以調節緩沖速度。從緩沖柱塞封閉柱塞孔起，到活塞停下來為止，活塞所走的行程稱為緩沖行程。緩沖裝置就是利用形成的氣墊V排氣即產生背壓阻力)和節流阻尼來吸收活塞運動產生的能，達到緩沖的目的。

為了達到緩沖作用，緩沖腔室內的空氣絕熱壓縮所，吸收的壓縮能E必須大于活塞等運動部件所具有的動能。1.絕熱壓縮開始時緩沖腔室內的絕對壓力2.絕熱壓縮結束時緩沖腔室內的絕對壓力，3.絕熱壓縮開始時緩沖室內的容積。